ANSYS Zemax 半導體製造檢測應用

半導體加工檢測需求升級 半導體加工檢測設備再過去10年在台灣因為台灣多家半導體上下游大廠的大量投資,有效拉動相關技術的變革升級與有更嚴苛的要求。過往在檢測與加工設備都沿用經驗值來進行開發與設計。 但隨著半導體產品精度推向微奈米等級,以往使用經驗值加上Try&…